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揭秘二氧化钛靶材:芯片光刻、光伏心脏的“核心密码”

中诺新材 2025-07-08 5:46:18

二氧化钛靶材 (3).jpg

它不导电,却能“飞溅”出改变世界的光!它坚硬如陶瓷,却能像金属一样被“锻造”!它就是二氧化钛靶材——看似低调,却默默支撑着芯片光刻、光伏发电、手机屏幕、节能玻璃等尖端产业的核心材料。作为金属材料领域的“硬核玩家”,今天我们带您深度解密这块神奇的“金属陶瓷”靶材!

一、 二氧化钛靶材:物理化学“硬实力”全解析

1.高熔点 (>1800°C): 无惧高温溅射环境,稳定性超强!

2.高硬度 (莫氏硬度6-7): 耐磨抗冲击,保障溅射过程均匀稳定,延长靶材寿命。

3.“半导体”特性: 纯净时为绝缘体,但通过精准掺杂,可控调节其电学性能,满足不同应用需求。

4.光学“魔术师”: 折射率高(~2.7),可见光透过性好,紫外光吸收强!这是其作为光学薄膜、光催化、光致变色材料的核心基础。

5.化学“磐石”: 常温下化学性质极其稳定,耐酸耐碱耐腐蚀,确保镀膜纯净无污染。

二、应用场景:这块“靶”心,点亮科技未来!

二氧化钛靶材溅射的薄膜,是众多高科技产品的“隐形功臣”:

1.半导体芯片的“光之画笔”: 用于光刻工艺中的抗反射涂层,显著提高光刻分辨率和精度,是摩尔定律持续前进的幕后推手!

2.光伏电池的“能量捕手”: 作为高效晶体硅太阳能电池的减反射膜和钝化层,大幅提升光电转换效率,助力“双碳”目标。

3.显示屏幕的“视觉魔术”: 应用于手机、平板、电视的TFT-LCD和OLED屏,作为介电层、绝缘层或透明导电氧化物(TCO)的组成部分。

4.节能建筑的“智能外衣”: 打造Low-E低辐射玻璃、光致变色/电致变色智能玻璃薄膜,实现隔热、保温、调光,节能减排。

5.自清洁表面的“环保卫士”: 利用其光催化特性,可制备具有分解有机物、杀菌、除异味功能的自清洁涂层(如幕墙、瓷砖、卫浴)。

6.光学镜片的“性能加成”: 用于相机镜头、光学仪器中的增透膜、高反射膜或滤光片。


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