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铜锰镍合金靶材应用
CuMnNi属于三元铜基合金靶,锰提供自形成阻挡层能力、镍强化薄膜附着力、细化晶粒、提升热稳定性;对比二元CuMn,抗扩散、耐湿热、高温稳定性更强,兼顾导电与阻扩散双重特性,主流用于磁控溅射PVD沉积薄膜。
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铝铁合金颗粒应用
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铝钛合金溅射靶材应用
铝钛靶材经磁控/反应溅射,可制备AlTi金属膜、TiAlN硬质涂层、AlTiO光学薄膜,覆盖刀具模具、装饰镀膜、半导体、光学、新能源、航空科研等领域。
铝钛钒铬铌五元高熵合金靶材应用
高熵合金材料
铝铬合金靶材应用
铝铬靶材通过磁控溅射、电弧离子镀,与氮气反应生成AlCrN超硬涂层,也可制备AlCr、AlCrO功能膜,刀具模具涂层为核心应用
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